Friday 31 October 2025

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ettoday - 5 days ago

減少晶片曝光缺陷！　陸開發光阻劑有新突破

大陸在晶片製造領域有最新突破，北京大學化學與分子工程學院團隊通過冷凍電子斷層掃描技術，首次在原位狀態下解析了光阻劑分子在液相環境中的微觀三維結構、界面分布與纏結行為，指導開發出可顯著減少曝光缺陷的產業化方案，相關論文近日刊發於《自然·通訊》。《詳全文...》

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Sources

aboluowang
appledaily.com.tw
bnex
businessweekly
cna
cw
dongtw
epochtimes
ettoday
gvm
ltn.com.tw
managertoday
ntdtv
pts.org.tw
rti.org.tw
sina.com.tw
storm.mg
TheNewsLens
udn.com

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